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四氟化钛

  • 品牌:臻博
  • 原产地:臻博
  • CAS :7783-63-3
  • 更新日期:2022-06-28

详情介绍

品牌: 臻博 EINECS编号: 232-017-6 英文名称: Titanium tetrafluoride
CAS编号: 7783-63-3 纯度: 99% 别名: 四氟化钛
分子式: F4Ti 产地/厂商: 臻博

中文名称:四氟化钛

中文同义词:四氟化钛(IV);氟化钛(IV)

英文名称:Titaniumtetrafluoride

CAS号:7783-63-3

分子式:F4Ti

分子量:123.86

EINECS号:232-017-6

熔点>400°C

沸点284°C

密度2.798g/mLat25°C(lit.)

化学性质:四氟化钛为有吸湿性的白色粉末,相对密度2.798,熔点284℃,常压下284℃即升华。易溶于水并分解,不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。

用途:用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线。