中文名称:四氟化钛

中文同义词:四氟化钛(IV);氟化钛(IV)

英文名称:Titaniumtetrafluoride

CAS号:7783-63-3

分子式:F4Ti

分子量:123.86

EINECS号:232-017-6

熔点>400°C

沸点284°C

密度2.798g/mLat25°C(lit.)

化学性质：四氟化钛为有吸湿性的白色粉末，相对密度2.798，熔点284℃，常压下284℃即升华。易溶于水并分解，不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。

用途：用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。