品牌: 臻博 | EINECS编号: 232-017-6 | 英文名称: Titanium tetrafluoride |
CAS编号: 7783-63-3 | 纯度: 99% | 别名: 四氟化钛 |
分子式: F4Ti | 产地/厂商: 臻博 |
中文名称:四氟化钛
中文同义词:四氟化钛(IV);氟化钛(IV)
英文名称:Titaniumtetrafluoride
CAS号:7783-63-3
分子式:F4Ti
分子量:123.86
EINECS号:232-017-6
熔点>400°C
沸点284°C
密度2.798g/mLat25°C(lit.)
化学性质:四氟化钛为有吸湿性的白色粉末,相对密度2.798,熔点284℃,常压下284℃即升华。易溶于水并分解,不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。
用途:用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线。